電子級超純水中國國家標準

項目級別

電阻率

MΩ.cm

硅 ≤

μg/L

微粒數

<個/m l

細菌

<個/ml

銅

≤μg/L

鋅

≤μg/L

鎳≤

μg/L

鈉≤

μg/L

鉀 ≤ g/L

氧≤

μg/L

硝酸根≤μg/L

磷酸根

≤μg/L

硫酸根

≤μg/L

總有機碳

≤μg/L

EW-Ⅰ

18

2

0.1

0.001

0.2

0.2

0.1

0.5

0.5

1

1

1

1

20

EW-Ⅱ

15

10

5

0.1

1

1

1

2

2

1

1

1

1

100